（一）技术参数
1.箱体
箱    体：2400mm（长）×770mm（下宽）×900mm（高）、材质为3mm厚SUS304；
前    窗：倾斜设计的操作面，8mm厚可拆卸钢化玻璃视窗；
手 套 口：直径220mm硬铝合金实心棒材加工而成，经耐腐蚀阳极氧化处理；
手    套：美国诺斯丁基橡胶手套，手套口径8英寸，厚度0.4mm；
压    力：使用压力区间为±10mbar；
压力开关：德国哈斯瓦谢微压压力传感器；
照    明：使用LED灯带，节能环保；
置 物 架：箱体设置2层置物架；
支    架：高950mm，安装有万向脚轮及不锈钢水平支撑座；
接    口：箱体设置多个KF40接口，以便于接入液体、气体、信号等；
电    源：220V、50Hz多孔灌胶插线板；
过 滤 器：箱体进出口处采用复合HEPA标准的过滤精度0.3微米高效过滤器；
泄 漏 率：＜0.001vol%/h（符合ISO10648-2国际标准）；
自动清洗：箱体带自动清洗功能，快速置换箱体气氛。
 
二、过渡舱   
尺  寸：大过渡舱Φ390mm * 600mm，材质为3mm厚SUS304，活塞门；
小过渡舱Φ150mm * 330mm，材质为3mm厚SUS304；
位  置：箱体右侧有大小过渡舱各1个。
托  盘：大过渡舱内设可滑动300mm * 450mm，SUS304托盘；
小过渡舱内设半圆形SUS304托盘；
小过渡舱盖采用杠杆锁压紧式，开闭简单方便且密封性能优异。
操  作：大过渡舱手动开闭，具有自动抽气补气功能，通过触摸屏控制。
小过渡舱手动开闭，三通球阀手动操作抽气补气。
真空度：≤－0.1MPa，带显示，配置德国WIKA耐震真空压力表。
 
三、循环净化再生系统
3.1循环风机
3.1.1品牌：台湾达纲风机，耐用，采用西门子变频器控制；
3.1.2流量：90m3/h，安装在密闭的经压力测试的不锈钢容器内；
3.1.3降噪：装有风机的不锈钢容器下部有减震装置，降低风机噪音；
3.1.4水冷：装有水冷回路，可接水路降低风机运行时产生的热量。
风机可根据箱体内水氧含量值进行变频调节，水氧达标时风机低速运转，水氧超标时风机高速运转。
 
3.2单净化柱（10kg/柱）
3.2.1净化材料：填装5KG美国UOP分子筛、5KG德国BASF铜触媒；
3.2.2净化能力：水：2KG、氧气：60升；
3.2.3净化效果：水氧含量＜1PPM；
3.2.4工作气体：纯度为99.999% 的N2（氮气）或Ar（氩气）；
3.2.5高真空角阀：采用新莱全不锈钢角阀，防腐耐用。
 
3.3再生系统  
3.3.1再  生：净化材料吸附饱和后，用混合气再生，恢复净化材料净化能力；
3.3.1混合气：H2 5%、N2 95% ；H2 5%、Ar 95%；   
3.4阀    组：德国Burkert电磁阀组，集成阀座模块化设计。
 
四、控制显示系统
4.1控制方式：西门子PLC、昆仑通泰7”触摸屏、循环再生控制、密码保护、中英界面；
4.2压力控制：触摸屏自动控制箱体、过渡舱的压力（±10mbar），工作压力0~5mbar；
4.3脚踏阀：微调箱体压力、方便操作；
4.4安全阀：箱体压力超过12mbar时自动开启安全阀泄压，保护设备、手套、材料；
4.5自动清洗：在触摸屏点击箱体自动清洗功能并设定时间，系统将开始清洗箱体；
4.6水氧报警：箱体内水氧含量超出设定值时声光报警。
 
五、真空泵
爱德华RV12真空泵，流量12m³/h、极限真空2*10-3mbar，对大小过渡舱进行抽真空。配备油雾过滤器。
 
六、水分析仪   
6.1 品牌：原装进口英国米歇尔、PLC显示；
6.2 范围：0-500 ppm；
6.3 误差：±1% ppm；
6.4 环境：－10℃—50℃.
 
七、氧分析仪
7.1 品牌：久尹、美国AII传感器（电化学）、独立显示、PLC显示、灵敏度高；
7.2 范围：0-10、100、1000ppm多段测量，微量氧专用；电化学电池（耐污染能力强，使用于锂电研发生产领域）；
7.3 精度：0 ~ 10PPM    ±3%FS（0.3PPM）；
0 ~ 100PPM   ±2%FS（ 2 PPM）；
0 ~ 1000PPM  ±1%FS（10 PPM）；
7.4 环  境：－10℃—50℃；
有全量程独立显示，可自行校准！数据无法作假！
 
八、有机溶剂吸附系统
填装水洗真空烘烤优质活性炭，吸附粉尘及有机溶剂，饱和后更换新材料。
 
（二）主要配置

 
（三）随机配件